Процесс растворения газов при плавке металла стремится к равновесию, описываемому законом Сивертса. Если над поверхностью выплавленного металла создать разрежение, уменьшить парциальное давление растворенного газа, то такое изменение приведет к активизации перехода газа из расплава в газовую фазу.
Однако зарождение пузырька газа в толще металла связано с необходимостью преодолеть давление слоя металла, расположенного над зарождающимся пузырьком, давление атмосферы печи, давление слоя шлака, а также силы поверхностного натяжения металла. Зарождение пузырька так называемого «критического радиуса» в объеме чистого металла теоретически невозможно. Но реально на практике в толще жидкого металла всегда существуют поверхности раздела металла с твердыми фазами, такие как металл—футеровка, металл—неметаллические включения. Эти поверхности не смачиваются металлом, что облегчает процесс зарождения на них пузырьков газа. Этим объясняется тот факт, что образование зародышей пузырьков газов происходит именно на поверхности твердых фаз.
Тем не менее, из неравенства очевидно, что с увеличением глубины ванны печи или ковша и увеличением толщины шлакового покрова эффективность процесса вакуумной дегазации снижается. Поэтому для больших объемов металла применяют вакуумную дегазацию струи металла при его переливе из одного ковша в другой в вакуумной камере.
Рафинирование вакуумированием применяется для стали и цветных металлов.